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- 2023-04-04 发布于四川
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本实用新型公开了硅棒快速降温系统,包括:还原炉,包括钟罩夹套和电极冷却装置,钟罩夹套具有入口和出口,还原炉内部设有硅棒;闪蒸罐,包括闪蒸出水管线和闪蒸回水管线,闪蒸出水管线与钟罩夹套的入口连接,闪蒸回水管线与钟罩夹套的出口连接,闪蒸出水管线上设置有高温进水阀门,闪蒸回水管线上设置有高温出水阀门;电极水罐,包括电极水罐出水管线和电极水罐回水管线;硅棒冷却进水管线和硅棒冷却回水管线,硅棒冷却进水管线上设置有冷却水进水阀门,硅棒冷却回水管线上设置有冷却水出水阀门。可以减少钟罩打开后硅棒自然冷却降温的时
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214087738 U
(45)授权公告日 2021.08.31
(21)申请号 202023085360.6
(22)申请日 2020.12.18
(73)专利权人 亚洲硅业(青海)股份有限公司
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