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- 2023-04-04 发布于四川
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本实用新型涉及石英晶体膜厚控制器技术领域，提出了一种防电子磁吸式晶控探头，包括基座，晶振片卡座，设置在基座上，晶振片，设置在晶振片卡座上，磁源组件，设置在基座或晶振片卡座上，磁源组件用于在晶振片外侧产生磁场阻止电子落至晶振片上。通过上述技术方案，解决了现有技术中的晶控探头应用于磁控溅射设备稳定性差的问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214088654 U
(45)授权公告日 2021.08.31
(21)申请号 202023206583.3
(22)申请日 2020.12.26
(73)专利权人 长沙元戎科技有限责任公司
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