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- 2023-04-04 发布于四川
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一种等离子体处理装置及绝缘窗口，其中，绝缘窗口包括：绝缘窗口本体；气体通道，开设于所述绝缘窗口本体内；热气体源和冷气体源，用于向所述气体通道内输送热气体和冷气体；阀装置，用于调整流通于所述气体通道内热气体相对于冷气体的混合比，以控制所述气体通道内气体的温度；控制器，用于控制所述阀装置来调整流通于所述气体通道内热气体相对于冷气体的混合比。所述绝缘窗口的温度动态可控，且均匀性较好。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214099577 U
(45)授权公告日 2021.08.31
(21)申请号 202023254054.0
(22)申请日 2020.12.29
(73)专利权人 中微半导体设备（上海）股份有限
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