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一种微波等离子体产生装置.pdfVIP

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  • 2023-04-04 发布于四川
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一种微波等离子体产生装置.pdf

    本实用新型公开了一种微波等离子体产生装置，属于微波技术领域，包括等离子体炬；所述等离子体炬包括外壳；所述外壳内设有圆柱状腔；所述圆柱状腔内设有反应管；所述外壳上设有进气口和出气口；所述进气口和出气口通过反应管连通；所述外壳上设有馈口；所述馈口连通圆柱状腔。本实用新型的一种微波等离子体产生装置，等离子体易激发，等离子体产生效率高，具有自动监测复反射系数功能，采用自动三销钉适配器自动调配，提高微波能量的利用率，能够快速自动点火，稳定可靠。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214101881 U (45)授权公告日 2021.08.31 (21)申请号 202120130031.4 (22)申请日 2021.01.19 (73)专利权人 成都奋羽电子科技有限公司

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