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TA1镀膜靶板组件.pdfVIP

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  • 2023-04-04 发布于四川
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TA1镀膜靶板组件.pdf

    本实用新型公开了TA1镀膜靶板组件，包括具有TA1材质的靶板、及用于靶板定位且具有导电作用的背板，所述背板上设有用于所述靶板连接的可拆卸结构、及靶板在竖直面内任意移动的移动机构。所述可拆卸结构包括在所述靶板一侧沿圆周方向设置的外螺纹、及在背板一侧上设置配合的内螺纹。所述背板沿竖直面被分割为定位板和移动板，移动机构设置在定位板和移动板之间。而移动机构则可以在靶板中心损耗达到一定程度后，将靶板边缘处移动到溅射中心进行溅射操作，提高靶板整体的利用率，降低靶板的使用成本。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214115707 U (45)授权公告日 2021.09.03 (21)申请号 202022470557.5 (22)申请日 2020.10.31 (73)专利权人 宝鸡市聚鑫源新材料股份有限公

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