原创力文档- 0
- 0
- 约7.22千字
- 约 8页
- 2023-04-04 发布于四川
- 举报
本实用新型属于晶体管生产领域，具体为一种用于晶体管生产的真空镀膜装置，包括真空机构、镀膜机构和用于带动晶体管转动的转动机构，所述真空机构包括真空箱、支脚、挡门、观察窗、把手，所述真空箱前部通过铰链连接有所述挡门，所述挡门前部安装有所述把手，所述挡门上且位于所述把手一侧嵌入有所述观察窗，所述真空箱顶部相连通有真空泵，所述真空箱底部设有所述支脚，所述镀膜机构包括输送管、喷管、连接环、连接杆、螺母，所述真空箱两侧贯穿有所述输送管，所述输送管朝向所述真空箱内部的一端相连通有所述喷管，所述喷管外侧设有所述
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214088641 U
(45)授权公告日 2021.08.31
(21)申请号 202022566625.8
(22)申请日 2020.11.09
(73)专利权人 浙江翠展微电子有限公司
文档评论（0）