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晶圆盘可移动工作台.pdfVIP

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  • 2023-04-04 发布于四川
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晶圆盘可移动工作台.pdf

    本实用新型公开了晶圆盘可移动工作台，包括移动平台，所述移动平台的上端转动连接有支撑柱，所述支撑柱贯穿并固定连接有第一锥齿轮，所述移动平台的上端固定连接有固定块，所述固定块上固定连接有电机，所述齿轮固定连接有照明灯，所述移动平台的下端固定连接有四个支撑腿，四个所述支撑腿的下端均固定连接有万向轮，所述压板与移动平台之间设有限位机构。本实用新型，结构合理，工作台上对晶圆载盘进行安装时，其安装简单，操作容易，同时可以调节照明灯的角度，更清楚观看到晶圆表面，在移动台进行移动后，需要固定在某处时，可以将压板

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214081265 U (45)授权公告日 2021.08.31 (21)申请号 202022853371.8 (22)申请日 2020.12.02 (73)专利权人 深圳远东卓越科技有限公司

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