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- 2023-04-05 发布于四川
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本实用新型公开了一种多源并行静电发生器，包括多路静电激发源、控制机盒和控制器，控制机盒内设有程控基准高压源，多路可选择并行逻辑控制电路，可编程逻辑模组，所述程控基准高压源、多路可选择并行逻辑控制电路与所述可编程逻辑模组连接，所述程控基准高压源、多路可选择并行逻辑控制电路与所述多路静电激发源连接，所述程控基准高压源用于向所述路静电激发源提供基础电源，所述多路可选择并行逻辑控制电路用于控制所述多路静电激发源输出。本实用新型克服了过去半导体晶圆片产线静电测试效率不高的问题，有效提升产线测试速度和生产速
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214150821 U
(45)授权公告日 2021.09.07
(21)申请号 202023327466.2
(22)申请日 2020.12.31
(73)专利权人 苏州索拉科技有限公司
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