一种微米轴向运动调节装置.pdfVIP

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  • 2023-04-05 发布于四川
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本实用新型公开了一种微米轴向运动调节装置,运动模组的底端固定连接有步进电机,运动模组的内侧装有丝杆固定座、丝杆、丝杆支承座、驱动螺母,丝杆两侧装有平行滑轨,所述步进电机与丝杆通过膜片联轴器刚性连接,避免出现回冲间隙,影响精度,为控制运动模组精度,其有效行程控制在50mm以内,且螺杆使用C3级精度以下研磨丝杆,驱动螺母与活动板刚性连接,在步进电机驱动驱动螺母转换成直线运动时,带动活动板做精密直线运动,因此光学检测装置可以进行微调,提高了光学检测的精度。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214150456 U (45)授权公告日 2021.09.07 (21)申请号 202023337778.1 (22)申请日 2020.12.30 (73)专利权人 广东省傲来科技有限公司

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