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本实用新型公开一种机械臂标定与运动精度检测组件,标定测量装置定位于基板上或通过直线运动台定位于基板上;标定测量装置包括底座、连接座、传感器固定座和位移传感器;传感器固定座安装有至少三个相互呈一定角度安装的位移传感器,位移传感器的位移测量轴线与水平面的法线方向呈α角,且0°≤α≤90°;被标定测量装置与机械臂相连,其为3D测量球杆或6D测量头,3D测量球杆位于标定测量装置上并通过位移传感器检测机械臂作绕点运动时3D测量球杆的球心的位置误差量;6D测量头位于标定测量装置上并通过直线运动台与位移传感器
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218698994 U
(45)授权公告日 2023.03.24
(21)申请号 202222864559.1
(22)申请日 2022.10.28
(73)专利权人 浙江大学湖州研究院
地址 313
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