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2023-04-06 发布于北京
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本公开是关于微通道板，属于光电技术领域。本实用新型提供的微通道板包括微通道板本体及设置在微通道板本体内壁的高阻薄膜；所述高阻薄膜具有由第1‑M薄膜层组成的层叠结构，每个薄膜层包括通过原子层沉积制成的第一材料层和通过原子层沉积于第一材料层上的第二材料层；所述微通道板本体内壁上为第1薄膜层的第一材料层，第i薄膜层的第一材料层沉积于第i‑1薄膜层的第二材料层上；所述高阻薄膜的厚度在预设厚度取值范围内；其中，第一材料为指定绝缘材料和指定导电材料中的任一种，第二材料为所述指定绝缘材料和指定导电材料中的另一

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215418100 U (45)授权公告日 2022.01.04 (21)申请号 202121109628.7 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 (22)申请日 2021