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一种晶圆承载盘烘烤架.pdfVIP

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  • 2023-04-06 发布于四川
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一种晶圆承载盘烘烤架.pdf

    本实用新型公开了一种晶圆承载盘烘烤架，包括烘烤箱，烘烤箱内部设有对称设有下承载架，下承载架上方且位于烘烤箱的内部对称设有上承载架，两个下承载架与上承载架相对的一侧均等距设有隔板，隔板两侧对称设有限位板，隔板表面均匀设有烘干口，烘烤箱一侧设有第一固定盒，第一固定盒内部设有风机和热源箱，热源箱表面设有进气口，热源箱表面对称设有出气口，风机输出端与进气口连通，烘烤箱远离第一固定盒的一侧对称设有角度调节机构，本实用新型结构紧凑，实用性强，上承载架和下承载架可以实现对晶圆承载，角度调节结构，可以实现对承载

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215412880 U (45)授权公告日 2022.01.04 (21)申请号 202122146688.2 (22)申请日 2021.09.07 (73)专利权人 嵊

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