一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构.pdfVIP

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  • 2023-04-06 发布于四川
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一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构.pdf

本实用新型公开了一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构,包括光刻机主体和控制面板主体,所述光刻机主体的正面设置有安装箱,所述控制面板主体的背面固定连接有插板,所述安装箱的正面开设有通孔,所述安装箱的内部开设有与插板相适配的插槽,所述插板穿过通孔并延伸至插槽的内部,所述插板的上表面开设有两个凹槽,所述插槽的内顶壁开设有两个通孔,所述连接块的下表面固定连接有两个贯穿通孔的固定杆,两个所述固定杆的下表面均固定连接有限位块。该直写式光刻机控制面板的锁紧机构,通过设置安装箱、插板、限位块,限位块可以通过拉杆向

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215453460 U (45)授权公告日 2022.01.07 (21)申请号 202022430051.1 (22)申请日 2020.10.28 (73)专利权人 上

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