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一种操作简便的多腔室等离子刻蚀设备.pdfVIP

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  • 2023-04-06 发布于四川
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一种操作简便的多腔室等离子刻蚀设备.pdf

    本实用新型公开了一种操作简便的多腔室等离子刻蚀设备，包括等离子刻蚀机，等离子刻蚀机的表面设置有四个刻蚀腔，四个刻蚀腔的表面均安装有密封门，四个刻蚀腔的内壁均固定连接有固定柱，四个螺纹杆的左端分别与四个移动槽的左壁定轴转动连接，等离子刻蚀机表面安装有控制台，还包括用于减少该装置在运输的过程中减少震动的减震机构一，本实用新型具备了四个刻蚀腔，四个刻蚀腔一起启动极大的提高了刻蚀效率的效果，并且通过减震机构一，减少了等离子刻蚀机在运输时受到的晃动，达到了减震的效果，解决了一个工作腔使用起来效率低下的问题

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215418098 U (45)授权公告日 2022.01.04 (21)申请号 202121422359.X (22)申请日 2021.06.25 (73)专利权人 江苏籽硕科技有限公司

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