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一种晶圆高精度自动供料装置.pdfVIP

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  • 2023-04-06 发布于四川
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一种晶圆高精度自动供料装置.pdf

    本实用新型公开了一种晶圆高精度自动供料装置，其包括升降模组、受升降模组驱动进行上下运动的提篮单元、与提篮单元输出端对接的左右定心对接单元、将晶圆模组从提篮单元中拉出至左右定心对接单元上的夹持移载机构；左右定心对接单元包括第二驱动件、受第二驱动件驱动进行相互靠拢或相互打开的左右定心支撑托板；夹持移载机构包括第三驱动件、受第三驱动件驱动进行水平移动的夹爪单元，夹爪单元包括第一子夹爪与第二子夹爪，第二子夹爪的下表面向下延伸设置有阻挡块，阻挡块在夹爪单元张开状态下推动晶圆模组进行水平移动实现前后定心。本

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215401765 U (45)授权公告日 2022.01.04 (21)申请号 202121817030.3 (22)申请日 2021.08.05 (73)专利权人 瑟福迪恩半导体设备技术（苏州）

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