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本实用新型公开了一种OLED与基板激光剥离前清洗机,包括接料机构、中转平台、中转搬臂、研磨平台、研磨机构、二流体及风干机构和下料机构,接料机构设置于机台的前端,中转平台间隔设置于接料机构的侧部;研磨平台水平设置在机台上;研磨机构跨设在研磨平台上方,研磨机构对应双研磨通道分别设有研磨盘组件;中转搬臂跨设在接料机构与中转平台之间;二流体及风干机构包括二组,分别设置在研磨平台的两研磨通道的侧部;下料机构设置在机台的后端。本实用新型将研磨效率提升12‑16倍,且换线灵活适应不同产能要求,通过翻转覆盖保护
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215394564 U
(45)授权公告日 2022.01.04
(21)申请号 202121314635.0 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
(22)申请日 2021
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