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一种硅组分补充装置.pdfVIP

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  • 2023-04-07 发布于北京
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一种硅组分补充装置.pdf

    本实用新型公开了一种硅组分补充装置，解决了现有技术中存在无法根据碳化硅单晶的生长情况调节硅碳比的问题，具有能够保证高品质、大尺寸碳化硅单晶的生长的有益效果，具体方案如下：一种硅组分补充装置，包括加热器，加热器内设置通道，通道的周侧形成用于存放碳化硅的容纳区域，加热器内设置晶种，通道内设置用于存放硅材料的容器，容器敞口设置，且容器与设于加热器外部的可移动机构连接，容器的最低位置低于容纳区域设置。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215440760 U (45)授权公告日 2022.01.07 (21)申请号 202121581450.6 (22)申请日 2021.07.12 (73)专利权人 山东大学 地址 2

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