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一种用于MPCVD腔体连接的法兰及MPCVD装置.pdfVIP

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  • 2023-04-07 发布于北京
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一种用于MPCVD腔体连接的法兰及MPCVD装置.pdf

    本申请涉及一种用于MPCVD腔体连接的法兰及MPCVD装置。法兰包括上法兰、下法兰、屏蔽条和密封圈；上法兰和下法兰配合，用于固定MPCVD腔体；下法兰上设有环状的开槽一，开槽一的宽度为以分隔板为介质，微波在介质中传输的半波长的整数倍，开槽一用于安装分隔板；下法兰上开槽一的槽底上设有开槽二和开槽三；开槽二和开槽三为同心的环状槽且开槽二的半径小于开槽三的半径；开槽二用于安装屏蔽条，开槽三用于安装密封圈。MPCVD装置包括法兰、上半腔体、下半腔体、分隔板、同轴传输段、同轴天线和生长台。本申请能够实现真

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215440679 U (45)授权公告日 2022.01.07 (21)申请号 202121363268.3 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 (22)申请日 2021

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