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- 2023-04-07 发布于北京
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本申请公开了一种芯片和芯片柄的转运设备,包括转运装置和下料装置;所述转运装置包括一转运盘、下料驱动机构和多个载具机构,所述转运盘转动以使所述载具机构在预设的工位之间往复流转;所述载具机构包括:固定块、驱动块、复位件、第一夹紧件和第二夹紧件;所述下料装置用于从所述载具机构拾取芯片和芯片柄并转移至预设区域。所述转运盘可以转动,所述多个载具机构沿所述转运盘周缘间隔设置,能够在各个预设工位之间往复流转,一方面转运盘连续旋转有利于各个操作程序之间,衔接紧密,交接转换工作效率高,另一方面芯片和芯片柄的转运和
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215438578 U
(45)授权公告日 2022.01.07
(21)申请号 202121255765.1 H01L 21/677 (2006.01)
(22)申请日
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