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一种氦检系统用全自动抽真空式氦检漏放气装置.pdfVIP

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  • 2023-04-07 发布于北京
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一种氦检系统用全自动抽真空式氦检漏放气装置.pdf

    本实用新型公开了一种氦检系统用全自动抽真空式氦检漏放气装置，包括工作台以及设置在工作台顶部的检漏机构，还包括设置在检漏机构上的锁紧机构，第一真空泵的一端固定连接有第一收集管，第一收集管的另一端贯穿箱体并延伸，第二真空泵的一端固定连接有第一抽气管，且第一抽气管的另一端固定连接在第一收集管的中间，当氦质谱检漏仪检测到工件发生泄漏的时候，关闭第一电磁阀和增压泵，随后通过开启第二电磁阀和第二抽气管上的第三电磁阀，驱动第一真空泵，第一真空泵将工件内部和箱体内的氦气抽取并泵入氦气瓶内，实现了一个真空泵同时将

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215448353 U (45)授权公告日 2022.01.07 (21)申请号 202121632730.5 (22)申请日 2021.07.19 (73)专利权人 深圳华尔升智控技术有限公司

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