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一种MEMS压力传感器.pdfVIP

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  • 2023-04-07 发布于北京
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一种MEMS压力传感器.pdf

    本实用新型公开了一种MEMS压力传感器包括沿第一方向依次层叠设置的支撑层、绝缘层、N型器件层和P型浓掺杂层；其中，第一方向为支撑层垂直指向P型浓掺杂层的方向；排列在第一平面上的四个条状凸起，沿第一方向，每个条状凸起均包括P型浓掺杂层，第一平面为垂直于第一方向的平面；多个电极，各电极用于各条状凸起接入电信号和输出电信号；各电极和各条状凸起构成惠斯通电桥；支撑层设置有第一腔体，第一腔体与惠斯通电桥之间设置有应变薄膜层。该结构以实现提高压力传感器的灵敏度和稳定性，并减小压力传感器的尺寸。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215448265 U (45)授权公告日 2022.01.07 (21)申请号 202121435422.3 (22)申请日 2021.06.25 (73)专利权人 苏州跃芯微传感技术有限公司

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