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一种屏蔽泵电动机定子氦质谱喷吹检漏装置.pdfVIP

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  • 2023-04-07 发布于北京
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一种屏蔽泵电动机定子氦质谱喷吹检漏装置.pdf

    本实用新型涉及一种屏蔽泵电动机定子氦质谱喷吹检漏装置，分子真空泵(7)的一端通过管路连接并联布置的氦质谱检漏仪(9)和前级真空泵(8)，分子真空泵(7)的另一端通过主管路连接液氮冷阱(6)和真空阀(5)并在主管路(4)上安装真空计(3)和破空阀(2)，主管路(4)通过并联的两条分路与定子(16)连接：第一路与定子上端检漏孔(10)连接，该分路上设置有氦气标准漏孔(1)，第二路与定子下端检漏孔(15)连接。本实用新型在兼顾仪器设备的安全运行和环境保护的前提下，对大容积定子密封腔体进行高灵敏度的氦质

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215448350 U (45)授权公告日 2022.01.07 (21)申请号 202121414118.0 (22)申请日 2021.06.24 (73)专利权人 哈尔滨电气动力装备有限公司

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