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适用于固晶机的扩片台.pdfVIP

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  • 2023-04-07 发布于北京
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适用于固晶机的扩片台.pdf

    本实用新型属于半导体设备领域，特别是一种适用于固晶机的扩片台，包括环盖和环底座，环盖和环底座活动连接，在环盖的外边缘设置扣钩，在环底座的外边缘设置扣钩座，扣钩与扣钩座卡扣连接，在环底座的内边缘设置凸圆。本实用新型体积小，能够安装在固晶机上，省却了扩片机，减少了人工干预，提高了生产率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215451347 U (45)授权公告日 2022.01.07 (21)申请号 202121550989.5 (22)申请日 2021.07.08 (73)专利权人 佛山市蓝箭电子股份有限公司

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