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共光路偏振光学系统测量表面粗糙度方法研究 Study on Surface Roughness Measurement with Common Path Polarization Optical System 摘 要 近年来随着科学技术的不断进步和“信息时代”的到来，机械，电子，光学工业对加工表面的质量要求越来越高。因此为实现更高的表面加工质量，相应要求更高的表面粗糙度测量手段。 本文通过总结目前已经存在的测量表面粗糙度的方法，分析了它们工作原理的优点和缺点，提出了一种新型非接触高精度表面粗糙度测量方法，它采用共光路偏振干涉光学测量系统，且不需要另外的参考表面。然后依波动光学理论并采