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- 2023-04-09 发布于四川
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本实用新型公开了一种阴极旋转靶机安装结构，其包括第一靶机、第二靶机、腔体、基板、传输轮、支架底座和门板，所述基板和传输轮安装在腔体内，基板设置在传输轮上方，所述腔体安装在支架底座上，所述第一靶机和第二靶机与腔体通过门板连接，所述门板的平面开孔尺寸和锁付尺寸一致。通过设计两个靶机，且门板的平面开孔尺寸和锁付尺寸一致，即可以实现由下往上镀膜及由上往下镀膜的阴极靶机同方向安装和保养，使用者可依工艺需求随意切换完成正面镀、背面镀或双面同时镀，一机多用途，创造传统型的不可能效果。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215481233 U
(45)授权公告日 2022.01.11
(21)申请号 202121273566.3
(22)申请日 2021.06.08
(73)专利权人 福建金石能源有限公司
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