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- 2023-04-09 发布于四川
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本实用新型公开了一种测量芯片研磨垫磨损量的量具，包括有支架，所述支架上安装有多个量具，各量具测头向下。使用时，将量具架设有研磨垫台架上，多个测头直接对准研磨垫，直接读出测头数据，了解研磨垫不同区域磨损量的数值。方便易行。可有利于保证芯片研磨质量。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215470499 U
(45)授权公告日 2022.01.11
(21)申请号 202120410033.9
(22)申请日 2021.02.24
(73)专利权人 合肥铨得合半导体有限责任公司
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