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一种用于晶圆抛光的旋转夹具.pdfVIP

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  • 2023-04-09 发布于四川
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一种用于晶圆抛光的旋转夹具.pdf

    本申请提供一种用于晶圆抛光的旋转夹具，包括：下转盘和上转盘，上转盘同轴设于下转盘上方。下转盘和上转盘安装于同一框架，框架呈环形结构，上转盘的底面与下转盘的顶面相对设置，下转盘的底部设有第一电机，第一电机安装于框架底部，框架顶部设有第二电机，第二电机的转轴设有延长杆，延长杆朝向下转盘设置，延长杆的截面为多边形，上转盘顶部同轴设有连接管，连接管与延长杆同轴设置，连接管滑动套设于延长杆外侧，连接管外周转动设有推动盘，推动盘沿连接管的轴线方向移动，夹持稳定，可防止晶圆打滑。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215470362 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202121142773.5 (22)申请日 2021.05.26 (73)专利权人 四川上特科技有限公司

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