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一种光刻机涂布旋涂机.pdfVIP

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  • 2023-04-09 发布于四川
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一种光刻机涂布旋涂机.pdf

    本实用新型属于旋涂机技术领域，具体涉及一种光刻机涂布旋涂机，包括外壳体，外壳体顶侧通过转轴连接的下盖体上粘接有上盖体和玻璃视镜，玻璃视镜底侧贴合有密封垫，外壳体内部通过隔离板分隔有工作腔和真空腔，工作腔内部安装的电机通过带传动机构传动连接有转动轴，转动轴上安装的导电滑环的侧面滑动连接有碳刷，转动轴顶端固定连接的载物盘上开设的置物槽的底部安装有加热片，载物盘顶面安装有多个夹持机构，外壳体侧面安装有真空表、止回阀、快接接头，转动的加热片可对基片进行稳定加热，并避免碳刷与导电滑环摩擦产生的碳粉影响产品

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215465759 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202121306784.2 (22)申请日 2021.06.11 (73)专利权人 福州大学 地址 3

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