一种坩埚治具.pdfVIP

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2023-04-09 发布于四川
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一种坩埚治具.pdf

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本实用新型实施例公开了一种坩埚治具，包括治具支架；治具支架包括坩埚过孔和至少两个固定孔；坩埚过孔的最小内径大于坩埚的最大外径，坩埚经坩埚过孔放置在蒸发源装置中，或经坩埚过孔从蒸发源装置取出；蒸发源装置中设置有定位柱，定位柱与固定孔一一对应。解决了坩埚在放置和取出蒸发源装置的过程中，坩埚底部与蒸发源内壁易发生磕碰，坩埚易剐蹭蒸发源装置的加热线，引发坩埚的破损，或者加热线断裂，加热效果异常的状况，造成直接的材料损失和生产周期的滞后的问题。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215481227 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202121480775.5 (22)申请日 2021.06.30 (73)专利权人上海和辉光电股份有限公司