用于湿制程的全覆盖双室喷药设备.pdfVIP

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  • 2023-04-09 发布于四川
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本实用新型提供了一种用于湿制程的全覆盖双室喷药设备,包括相衔接的第一喷药室和第二喷药室,第一喷药室和第二喷药室的中部均开设相连通的工件输送通道,第一喷药室和第二喷药室的上部设置用于朝下喷药的喷洒机构,下部设置用于朝上喷药的喷洒机构,喷洒机构包括呈竖直的进药管和呈水平的喷药管,进药管与喷药管之间通过缓冲盒相连通,喷药管上通过若干短直管一一连通若干单喷嘴,喷药管上通过分叉管连通双喷嘴,分叉管包括相连通的长直管和横支管,长直管的末端连接双喷嘴中的其一喷嘴,横支管的末端连接双喷嘴中的另一喷嘴,单喷嘴设置

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215465585 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202121252938.4 (22)申请日 2021.06.04 (73)专利权人 浙江众凌科技有限公司

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