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一种硅片循环收料系统.pdfVIP

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  • 2023-04-09 发布于四川
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一种硅片循环收料系统.pdf

    本实用新型提供了一种硅片循环收料系统，包括硅片输送机构、收料输送机构及回流输送机构，其中：硅片输送机构的输送路径上设置有若干硅片收片工位，硅片输送机构被配置为将硅片输送至位于硅片收片工位处的料盒内；收满硅片的满料盒从硅片收片工位处被换向至收料输送机构上，收料输送机构被配置为将满料盒输送至位于收料输送机构的出料端的收料工位处；收料工位处的被搬空的空料盒被换向至位于回流输送机构的进料端的回流工位处，回流输送机构被配置为将位于回流工位处的空料盒朝向硅片收片工位输送以使得空料盒回流至硅片收片工位处。本实

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215477827 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202121298151.1 H01M 10/04 (2006.01)

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