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一种硅片印刷用承载台.pdfVIP

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  • 2023-04-09 发布于四川
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一种硅片印刷用承载台.pdf

    本实用新型提供了一种硅片印刷用承载台，包括承载台基座以及多个定位挡板；承载台基座的表面开设有多个气孔，底部设有与气孔连通的气泵；承载台基座的表面设有多个以承载台基座的中心点为圆心的同心圆标记；每个同心圆标记的圆周上都均匀的设置有多个弧形孔，定位挡板通过弧形孔插接安装在承载台基座上；只需将多个定位挡板安装在同一个同心圆标记上，就能利用定位挡板对硅片进行定位，保证硅片的中心点始终与承载台基座的中心点重合，从而节省了校准时间，提高了印刷效率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215473764 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202121417100.6 (22)申请日 2021.06.24 (73)专利权人 普乐新能源科技（徐州）有限公司

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