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用于化学机械研磨装置的研磨垫和化学机械研磨装置.pdfVIP

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  • 2023-04-09 发布于四川
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用于化学机械研磨装置的研磨垫和化学机械研磨装置.pdf

    该实用新型提出一种用于化学机械研磨装置的研磨垫和化学机械研磨装置，所述研磨垫包括具有第一硬度的第一研磨部和具有第二硬度的第二研磨部，所述第一硬度小于所述第二硬度，在所述研磨垫的研磨面上，所述第一研磨部的研磨面积和所述第二研磨部的研磨面积相同。根据本实用新型实施例的研磨垫，能够减少对晶圆表面形貌的损坏，且不易变形，使用寿命长。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215470444 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202120660603.X (22)申请日 2021.03.31 (73)专利权人 长江存储科技有限责任公司

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