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- 2023-04-09 发布于四川
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本实用新型公开了一种超硬抗反射玻璃镀膜生产加工上料装置,包括真空腔体,便于对保证产品在加工时的环境为真空状态,所述真空腔体内一侧开有开口。本实用新型通过在采用分子泵产生高真空,使用多耙材进行磁控溅射镀膜设备,用化学合成方法产生分子结构重组作用于产品表面形成膜层而实现超硬AR镀膜,采用磁控溅射耙材,比传统蒸发镀膜气象沉积法腔体更清洁,良率更高,镀膜材料利用率更高。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215481243 U
(45)授权公告日 2022.01.11
(21)申请号 202121263606.6
(22)申请日 2021.06.07
(73)专利权人 东莞市悦目光学科技有限公司
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