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电浆清洁装置.pdfVIP

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  • 2023-04-09 发布于四川
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电浆清洁装置.pdf

    本实用新型是一种电浆清洁装置，包括腔体、射频电极、载台、电极、气体分散环与分隔环。所述气体分散环透过锁固件连接腔体，而分隔环低于气体分散环，其中分隔环与腔体围绕出分隔空间，而锁固件位于分隔空间。所述分隔环还与载台界定出反应空间，而锁固件被限制在反应空间之外。在电浆清洁装置的清洁过程中，氩离子撞击载台上的铝基板，而分隔环可遮蔽锁固件以防止部分溅镀出来的铝吸附在锁固件。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215496622 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202120422649.8 (22)申请日 2021.02.26 (73)专利权人 鑫天虹(厦门)科技有限公司

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