1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

安装有隔离装置的单晶炉.pdfVIP

  • 2
  • 0
  • 约1.05万字
  • 约 10页
  • 2023-04-09 发布于四川
  • 举报

安装有隔离装置的单晶炉.pdf

    本实用新型涉及一种安装有隔离装置的单晶炉，包括加料管、热屏支撑环以及同心设置的外坩埚和内坩埚，热屏支撑环设有第一加料孔，加料管穿过第一加料孔与外坩埚的内腔连通，还包括：隔离装置，包括隔离环，隔离环的内边缘围绕在内坩埚的外壁，隔离环外边缘与隔离环的内边缘之间的区域隔离外坩埚的内腔与内坩埚的内腔，以阻挡从加料管加入到外坩埚内的硅料迸溅到内坩埚腔内；连接件，可拆卸地连接隔离装置和热屏支撑环。本实用新型中的隔离装置能够较好地在防止加料管在添加硅料的过程中，硅料从外坩埚迸溅到内坩埚的问题。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215481412 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202121298372.9 (22)申请日 2021.06.10 (73)专利权人 江苏协鑫硅材料科技发展有限公

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >