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- 2023-04-09 发布于四川
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本实用新型公开了一种便于清理工作台的超声波打孔机,应用在硅片超声波打孔设备领域,解决了现有超声波打孔机工作台上悬浮液难清理的问题,其技术方案要点是包括机架和工作台,机架上方设置有支撑架,支撑架滑动连接有打孔机头;工作台上设有夹持组件,夹持组件包括固定板、开设于工作台的滑道和与工作台滑动连接的滑块;工作台外周延伸有挡板,工作台开设有与滑道连通的排水孔,排水孔连接有悬浮液循环组件和清洗组件;清洗组件包括出水管和与排水孔连接的废液箱;具有的技术效果是通过设置夹持组件,将夹持组件的固定方式由螺栓固定更改
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215469955 U
(45)授权公告日 2022.01.11
(21)申请号 202121322362.4
(22)申请日 2021.06.11
(73)专利权人 江苏宏芯时代半导体有限公司
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