单晶炉石墨热屏.pdfVIP

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2023-04-10 发布于四川
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单晶炉石墨热屏.pdf

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本实用新型提供的单晶炉石墨热屏，属于拉晶技术领域，包括：热屏主体、热屏环体、石英针挂块，热屏主体为上下开孔的筒体，热屏主体的下部设置热屏环体，热屏环体水平内置于热屏主体的内侧，并且热屏环体位于热屏主体的下部，热屏环体靠近内侧的上边缘设置卡台，卡台的中部设置有通孔，石英针挂块的截面形状与卡台的截面形状相同，卡台与石英针挂块卡合，石英针挂块上开设卡孔，热屏环体套设在热屏主体内，石英针挂块卡接在热屏环体的卡台内，石英针挂接在石英针挂块的卡孔内，一旦石英针挂块卡孔位置开裂，或所述热屏环体的卡台处开裂时，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215481413 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202121974540.1 (22)申请日 2021.08.20 (73)专利权人宁夏中欣晶圆半导体科技有限公