一种电子束蒸镀装置.pdfVIP

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2023-04-10 发布于四川
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一种电子束蒸镀装置.pdf

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本实用新型属于半导体蒸镀技术领域，具体涉及一种电子束蒸镀装置，包括蒸镀仓、电子束发生装置、坩埚和蒸镀架，蒸镀仓包括底仓和顶盖，底仓的底部安装有平台，平台的顶部开设有第一安装槽，电子束发生装置与坩埚之间设有磁极，第一安装槽的底部开设有第二安装槽，第二安装槽内安装有第一电机，坩埚的顶部开设有多个容纳槽，多个容纳槽内均固定安装有衬埚，顶盖的内底部固定安装有第二电机，蒸镀架包括多个支脚，多个支脚上均转动连接有圆盘，圆盘上开设有多个晶圆槽，晶圆槽内转动安装有固定环，底仓的侧壁于圆盘处设有第一齿环，圆盘的侧

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215517609 U (45)授权公告日 2022.01.14 (21)申请号 202120974092.9 (22)申请日 2021.05.08 (73)专利权人威科赛乐微电子股份有限公司