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定位组件及半导体工艺设备.pdfVIP

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  • 2023-04-10 发布于北京
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定位组件及半导体工艺设备.pdf

    本申请公开了一种定位组件及半导体工艺设备，涉及半导体工艺设备领域。一种定位组件包括：固定件，固定件设有通孔；定位件，定位件设置具有台阶的固定柱，固定柱穿设于通孔，且固定件位于定位件的表面与台阶的表面之间；固定柱背离定位件的端面设有凹槽，固定柱还设有沿固定柱轴向贯穿固定柱的安装孔，安装孔与凹槽连通；紧固件，紧固件能够设置于安装孔中，并使凹槽具有扩张的趋势，以限制固定柱脱离固定件。一种半导体工艺设备，包括上述定位组件。本申请能够解决花篮定位失败而引起机械手与花篮触碰等问题。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215496665 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202121710639.0 (22)申请日 2021.07.26 (73)专利权人 北京北方华创微电子装备有限公

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