一种自对准顶栅铟锡锌氧化物薄膜晶体管.pdfVIP

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2023-04-10 发布于四川
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一种自对准顶栅铟锡锌氧化物薄膜晶体管.pdf

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本实用新型涉及一种自对准顶栅铟锡锌氧化物薄膜晶体管，其是在无机钝化层与覆盖在无机钝化层上的第三绝缘层之间对应铟锡锌氧化物薄膜设有辐射吸收层，所述辐射吸收层上还设有相应的辐射反射层；所述辐射反射层表面均匀分布有若干个半球形反射面，采用以上技术方案使反射层有效的辐射反射，吸收层吸收极少量透过反射层的辐射，使吸收层不易分解，进而使铟锡锌氧化物薄膜不易分解，延长氧化物薄膜晶体管的寿命。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215496736 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202122064720.2 (22)申请日 2021.08.30 (73)专利权人福建华佳彩有限公司