一种带有缓冲保护结构的晶圆专用储存盒.pdfVIP

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2023-04-10 发布于四川
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一种带有缓冲保护结构的晶圆专用储存盒.pdf

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本实用新型公开了一种带有缓冲保护结构的晶圆专用储存盒，包括盒体，所述盒体的顶部通过铰链转动连接有盒盖，所述盒盖的顶端贯穿固定有组装筒，所述组装筒的内部通过滑动连接有挤压柱，所述挤压柱的一端固定有压板，所述压板位于盒盖的内侧，所述挤压柱的顶部设置有顶簧，所述顶簧位于组装筒的内部；本实用新型通过设计的压板、组装筒和挤压柱，压板通过组装筒和挤压柱滑动安装在盒盖内，保证盒盖在盖上后，压板向下滑移，挤压在晶圆盘上，使其对金圆盘进行固定，保证其在盒内转移过程中发生晃动而产生磨损，通过设计的顶簧，顶簧对挤压柱

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215476732 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202121839404.1 (22)申请日 2021.08.09 (73)专利权人昆山兴宇宏机械科技有限公司