28nmHK工艺流程完整版.pdf

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2010年代CMOS工艺流程 32nm/28nm CMOS工艺流程 32nm/28nm CMOS工艺流程——浅槽隔离 77 32nm/28nm CMOS工艺流程 32nm/28nm CMOS工艺流程——浅槽隔离(续) 78 32nm/28nm CMOS工艺流程 32nm/28nm CMOS工艺流程——双阱形成 79 32nm/28nm CMOS工艺流程 32nm/28nm CMOS工艺流程——栅极、NMOS SDE、侧壁间隔层形成 80 32nm/28nm CMOS工艺流程 32nm/28nm CMOS工艺流程——栅极、NMOS SDE、侧壁间隔层形成(续) 81 32nm/28nm CMOS工艺流程 32nm/28nm CMOS工艺流程——源/漏极SEG 82 32nm/28nm CMOS工艺流程 32nm/28nm CMOS工艺流程——源/漏极SEG (续) 83 32nm/28nm CMOS工艺流程 32nm/28nm CMOS工艺流程——后栅HKMG 84 32nm/28nm CMOS工艺流程 32nm/28nm CMOS工艺流程——后栅HKMG (续) 85 32nm/28nm CMOS工艺流程 32nm/28nm CMOS工艺流程——接触 86 32nm/28nm CMOS工艺流程 32nm/28nm CMOS工艺流程——接触(续) 87 32nm/28nm CMOS工艺流程 32nm/28nm CMOS工艺流程——金属1 88 32nm/28nm CMOS工艺流程 32nm/28nm CMOS工艺流程——金属1 (续) 89 32nm/28nm CMOS工艺流程 32nm/28nm CMOS工艺流程——通孔1、金属2铜/低互连 90 32nm/28nm CMOS工艺流程 32nm/28nm CMOS工艺流程——通孔1、金属2铜/低互连(续) 91 32nm/28nm CMOS工艺流程 32nm/28nm CMOS工艺流程——通孔1、金属2铜/低互连(续) 92 32nm/28nm CMOS工艺流程 32nm/28nm CMOS工艺流程——金属3至金属9铜/低互连

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