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- 2023-04-14 发布于重庆
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梯度线圈产业深度调研及未来发展现状趋势
MCZ(磁控直拉单晶硅技术)
单晶硅按晶体生长方法的不同,分为直拉法(CZ)、区熔法(FZ)两种,直拉法是目前主要的单晶硅规模化量产技术。MCZ技术是通过磁场对导电硅流体的热对流形成抑制作用,抑制单晶硅生长过程中杂质和缺陷的产生,从而大幅改善晶体完整性、均匀性,可实现高质量大尺寸单晶硅快速生长。其中采用超导磁体提供5000Gs稳定磁场的MCZ技术是目前国际上生300mm以上大尺寸半导体级单晶硅的最主要方法。随着国内半导体工业的迅速发展,中国已成为全球增长速度最快的单晶硅生产和消费国家,其中MCZ产品占总产量的70%-80%,目前国际上300毫米以上大尺
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