热处理对类金刚石碳薄膜力学和摩擦性能的影响.docxVIP

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2023-04-14 发布于山西
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热处理对类金刚石碳薄膜力学和摩擦性能的影响热处理对类金刚石碳薄膜力学和摩擦性能的影响摘要：类金刚石碳薄膜（DLC）具有广泛的应用前景，但是其因其特殊的力学和摩擦性能受到极大关注。热处理作为一种改善薄膜性能的方法，可以显著提高DLC薄膜的力学和摩擦性能。本文总结了DLC薄膜热处理对机械性能和摩擦性能的影响，并讨论了其机理和应用前景。关键词：类金刚石碳薄膜、热处理、力学性能、摩擦性能引言：类金刚石碳薄膜因其特殊的性质，如硬度高、抗磨损、化学稳定性强、生物相容性好等，具有广泛的应用前景，在摩擦学、电子学、光学、生物医学等领域得到了广泛的应用。然而，其薄膜在制备过程中存在一定