一种晶元激光刻蚀设备中的工件表面清洁机构.pdfVIP

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2023-04-11 发布于四川
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一种晶元激光刻蚀设备中的工件表面清洁机构.pdf

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一种晶元激光刻蚀设备中的工件表面清洁机构，本实用新型涉及硅晶元加工设备技术领域，支架上固定设置有操作箱，操作箱右端口的上下两侧边上均通过弹簧合页铰设有挡板，挡板活动边的前后两端对称固定设置有轴座，前后两侧的轴座之间设置有夹紧辊，操作箱的上内侧壁上通过轴承旋设有螺纹杆，螺纹杆上套设螺纹旋接有固定座，固定座的右侧壁上通过轴承旋设有安装座，安装座上固定设置有气嘴，气嘴通过管道穿出操作箱的左端口后与外部供气设备连接设置；其设置可调节吹气角度的气嘴，进而方便在对晶元加工完成进行卸料时，将晶元表面残留的碎屑

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215542971 U (45)授权公告日 2022.01.18 (21)申请号 202121031692.8 (22)申请日 2021.05.14 (73)专利权人常州阿普智能科技有限公司