GB/T 42158-2023微机电系统(MEMS)技术　微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法.pdf

ICS31.080.99 CCSL59 中华人 民共和 国国家标准 / — / : GBT42158 2023IEC62047-262016 微机电系统( )技术 微沟槽和 MEMS 棱锥式针结构的描述和测量方法 ( )— Micro-electromechanicalsstemstechnolo MEMS Descritionand y gy p measurementmethodsformicrotrenchand ramidalneedlestructures py ( : , — — IEC62047-262016Semiconductordevices Micro-electromechanicaldevices : Part26 Descritionandmeasurementmethodsformicrotrenchandneedle p , ) structuresIDT 2023-03-17发布 2023-07-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — / : GBT42158 2023IEC62047-262016 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1 4 微米尺度沟槽结构的描述 ……………………………………………………………………………… 1 4.1 概述 ………………………………………………………………………………………………… 1 4.2 符号和名称 ………………………………………………………………………………………… 2 4.3 说明 ………………………………………………………………………………………………… 3 5 微米尺度棱锥式针结构的描述 ………………………………………………………………………… 3 5.1 概述 ………………………………………………………………………………………………… 3 5.2 符号和名称 ………………………………………………………………………………………… 4 5.3 说明 ………………………………………………………………………………………………… 5 6 测量方法 ……………………………………………………………………