一种双向气氛氮化硅烧结炉.pdfVIP

下载本文档

0
0
约6.15千字
约 7页
2023-04-12 发布于四川
举报
版权申诉

一种双向气氛氮化硅烧结炉.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

一种双向气氛氮化硅烧结炉，包括上气路系统和下气路系统，所述上气路系统包括上布气管、上进气管、上排气管，上布气管设置在炉芯的顶壁下方，上进气管穿过炉壳和炉芯与上布气管连通，上排气管设置在炉壳外面并与上进气管连通，在上进气管的入口处设置有第一阀门，在上排气管的出口处设置有第二阀门；所述下气路系统包括下布气管、下进气管、下排气管，下布气管嵌在炉芯的底壁槽内，下进气管穿过炉壳和炉芯与下布气管连通，下排气管设置在炉壳外面并与下进气管连通，在下进气管的入口处设置有第三阀门，在下排气管的出口处设置有第四阀门。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215598056 U (45)授权公告日 2022.01.21 (21)申请号 202121824454.2 (22)申请日 2021.08.06 (73)专利权人安