上提拉开放式单晶炉.pdfVIP

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2023-04-12 发布于四川
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上提拉开放式单晶炉.pdf

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本发明公开了上提拉开放式单晶炉，炉体包括主炉室和副炉室，主炉室内部设有与籽晶配合的坩埚，主炉室的顶部设有炉盖，炉盖设有通孔；副炉室设于主炉室的上方，副炉室内设有绳体，绳体的底部末端与籽晶相配合；热场组件与坩埚相配合；坩埚驱动组件能够驱动坩埚在主炉室内转动或升降；提升驱动组件能够驱动绳体在副炉室内转动或升降；炉盖与副炉室之间设有缓冲组件；炉盖上设检测窗，能够与视觉检测组件配合。本发明结构稳定，可保证晶体的物理特性，并能够实时观察晶体生长情况。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114717649 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202210175772.3 (22)申请日 2022.02.25 (71)申请人连城凯克斯科技有限公司地址 21