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本发明提供一种单片式晶圆清洗装置，包括防护罩及驱动单元，防护罩至少包括第一防护罩及第二防护罩，且第一防护罩位于第二防护罩的外围；驱动单元包括连接件、旋转件及驱动件，其中，连接件与防护罩对应设置，且连接件的第一端与防护罩相连接，旋转件设置有倾斜槽，倾斜槽与防护罩对应设置，连接件的第二端位于倾斜槽内，驱动件与旋转件相连接，通过驱动件带动旋转件往复旋转，且防护罩沿倾斜槽进行升降，以提供不同的药液流道。本发明的单片式晶圆清洗装置仅通过一套驱动单元，即可同时对多个防护罩的位置进行调节，从而可减少驱动单元数
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114512427 A
(43)申请公布日 2022.05.17
(21)申请号 202210142064.X
(22)申请日 2022.02.16
(71)申请人 上海普达特半导体设
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